半導体クリーンルーム環境化学物質監視アプリケーション開発開始

2011年 5月 10日(火曜日) 12:00

半導体クリーンルームは、微粒子を高い精度で除去する事に成功していますが、一方で、化学物質汚染はデバイス生産のイールドに影響が大きく、これらに関しては汚染度を把握して対策を打つ事が広く行われています。 従って、注目すべき化学物質の濃度を精確に把握する事 が求められています。

弊社は、１つのソリューションとして、OLP-CRMの製品紹介を分析展２０１１にて行う予定です。