아토나프(Atonarp)는 혁신적인 새 계측 플랫폼인 애스턴(Aston)을 발표하였다. 이는 반도체 제조 공정에서 수율, 처리량, 효율성 향상을 목표로 한다.

July 15, 2021

아토나프(Atonarp)는 혁신적인 새 계측 플랫폼인 애스턴(Aston)을 발표하였다. 이는 반도체 제조 공정에서 수율, 처리량, 효율성 향상을 목표로 한다.

도쿄 – 2021년 7월 15일 – 아토나프(Atonarp)는 반도체, 의료, 제약 산업을 위한 분자 감지 및 진단 제품을 제조하는 선도 기업으로 오늘 통합 플라즈마 이온화 소스를 갖춘 혁신적인 현장 반도체 계측 플랫폼인 애스턴(Aston)을 발표했다. 

애스턴은 반도체 생산 공정을 위한 계측의 주요한 발전으로써 현장 분자 공정 제어가 가능하고 기존 팹을 더 효율적으로 운영하여 더 높은 생산량을 끌어 낼 수 있다. 처음부터 반도체 생산을 위해 구축된 애스턴은 여러 기존의 툴을 대체할 수 있고 리소그래피, 유전체 및 전도성 식각 및 증착, 챔버 세정, 챔버 매칭 및 저감을 포함한 포괄적인 애플리케이션 세트에서 전례 없는 수준의 제어를 제공할 수 있는 견고한 플랫폼이다.

"애스턴을 통해 특정 애플리케이션에서 단위 공정 처리량이 40% 초과하는 것을 확인했습니다. 크게 향상된 것이죠. 전체 팹 처리량에서 1%만 향상되어도 일반적인 팹 생산에 연간 수천만 달러를 더할 수 있습니다."라고 아토나프의 최고 경영자, 최고 기술 책임자 및 창립자인 프라카시 머시(Prakash Murthy)가 말했다. 

"애스턴을 기존 생산 공정 툴에 장착하면 새로운 생산 장비를 설치할 때 최대 1년이 걸리는 것에 비해 단 6~8주 내에 더 많은 처리량을 제공할 수 있습니다."라고 머시가 말했다. "이는 제조사들이 생산 수준을 높이고 현재의 반도체 생산능력 부족 문제를 해결하는 데 실질적인 도움이 될 것입니다."

신속하고 실행 가능한 EPD(종료점 검출)는 반도체 툴과 팹을 운영하는 가장 효율적인 방법이다. 지금까지 EPD는 필요한 현장 센서가 거친 공정 또는 챔버 세정 화학 물질을 견디지 못하거나 응축된 퇴적물로 인해 막힐 수 있기 때문에 공정 단계에 배치할 수 없는 경우가 많았다. 과거에는 공정을 확실히 완료하기 위해 정해진 시간 동안만 팹을 사용해야 했다. 반면 애스턴은 챔버 세정을 포함 공정이 완료된 시점을 정확히 감지하여 생산을 최적화하므로 필요한 세정 시간을 최대 80%까지 줄일 수 있다.

애스턴은 부식성 가스와 가스 오염 응축물을 견딜 수 있다. 기존의 솔루션보다 더 견고하며 독립적인 듀얼 이온화 소스(전형적인 전자 충격 이온화 소스와 필라멘트가 없는 플라즈마 이오나이저)를 특징으로 하여, 반도체 생산 시 마주하는 거친 조건에서 안정적으로 작동한다. 이로써 애스턴은 현장과 전통적인 전자 이오나이저가 매우 빠르게 부식되고 고장 나는 까다로운 환경에서 사용할 수 있다. 

애스턴은 기존의 질량 분석기보다 최대 100배 더 긴 사용 간격을 제공한다. 여기에는 특정 공정에 존재하는 응축된 퇴적물이 축적된 것을 제거하는 자가 세척 기능이 포함되어 있다.

애스턴은 자체 플라즈마를 생성하기 때문에 공정 플라즈마의 존재 여부와 관계없이 작동한다. 이는 플라즈마 소스가 작동해야 하는 발광분광법 계측기술에 비해 분명한 이점이므로, 애스턴은 공정를 위해 약한 플라즈마와 펄스 플라즈마를 사용하거나 플라즈마를 사용하지 않을 수 있는 ALD 및 특정 금속 증착 공정에 이상적이다.

또한, 애스턴은 정량화되고 실행 가능한 실시간 데이터를 제공하고 가장 까다로운 공정 애플리케이션을 위해 인공 지능(AI)을 통한 매우 효과적인 기계 학습을 가능케 함으로써 향상된 공정 일관성을 제공한다. 이는 실시간 데이터의 통계 분석과 공정 챔버 관리를 위한 높은 정확도, 감도, 반복성 덕분에 강화된 라인 및 제품 수율에 추가된 부분이다.

애스턴은 주로 화학기상증착(CVD) 및 식각 애플리케이션에서 사용하는 것을 목표로 하며, 두 분야 모두 사용량이 13%를 초과하는 연간 성장률을 기록하고 있다. 분광계는 조립 중에 새로운 공정 챔버에 설치하거나 이미 작동 중인 기존 챔버에 장착할 수 있다.

애스턴은 ATI Korea에서 개발한 지능형 압력 컨트롤러인 Psi와 함께 사용할 수도 있다. 수개월에 걸쳐 포괄적인 기술 타당성 평가를 거친 이 결합 솔루션은 최근 고급 공정 제어 애플리케이션용으로 삼성에서 구입했다.

애스턴은 현재 직접 구매 또는 아토나프의 글로벌 파트너 네트워크를 통해 평가 및 주문할 수 있다.

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아토나프 소개

아토나프는 생명 과학, 제약 및 반도체 시장을 위한 분자 감지 및 진단의 디지털 혁신을 주도하는 기업입니다. 통합 소프트웨어 플랫폼과 발광 및 질량 분석기 기술의 획기적인 혁신으로 구동되는 아토나프의 제품은 실시간으로 실행 가능하며 포괄적인 분자 프로파일링 데이터를 제공합니다. 반도체, 생명 과학, 건강 진단 기기의 개발 및 상용화 분야에서 세계적인 수준의 전문팀이 이끄는 아토나프는 일본, 미국, 인도에서 사업을 운영되고 있습니다. https://atonarp.com에서 자세히 알아보십시오. 


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